微机电体系(MEMS)也叫做微电子机械体系、微体系、微机械等,指尺度在几毫米乃至更小的高科技设备。微机电体系其内部结构一般在微米乃至纳米量级,是一个独立的智能体系。MEMS传感器是MEMS技能的一个使用,它们是使用微电子和微机械加工技能制造出来的新式传感器。2023年全球MEMS传感器职业商场规模到达99亿美元,五年复合增速到达8.85%。开始预算,2024年全球MEMS传感器职业商场规模将到达106亿美元。
依照感知技能范畴分类MEMS传感器能分为:惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器和光学传感器等;2023年全球MEMS传感器商场中,惯性传感器商场占有率占比最大,到达35%。
全球MEMS传感器职业竞赛十分剧烈,技能创新推进着各类使用的开展。博世、、英飞凌、霍尼韦尔和等头部企业在该范畴占有主导地位。博世在轿车和消费电子范畴具有十分显着优势,和英飞凌则在工业和物联网使用中体现杰出。霍尼韦尔和专心于高性能传感器,大范围的使用于航空、轿车和工业自动化。总的来看,全球MEMS传感器技能正向更小型化、智能化、低功耗方向开展。
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