北京时间2025年3月28日晚八点，iCANX Talks 第220期邀请到了日本东北大学教授Shuji Tanaka作为主讲嘉宾，南方科技大学副教授王敏，中国空天信息创新研究院“传感技术国家重点实验室”研究员陈嘉民，四川大学教授王竹卿担任研讨嘉宾，北京大学副教授卢奕鹏担任主持人。

  这将是一场汇聚顶尖学者的盛会，一同探讨前沿科技与学术挑战！更精彩，敬请期待！

  微机电系统（MEMS）在我们的日常生活中得到了广泛应用，包括惯性传感器、体声波（BAW）滤波器、麦克风和气压传感器等，其应用场景范围预计还将逐步扩大。此外， MEMS还在半导体制造设备、数据中心等的核心部件中发挥着关键作用。本次讲座将探讨MEMS技术的最新进展及其在新应用领域的拓展，这一些内容通常不在教科书的覆盖范围以内。通过具体实例，我们将阐释MEMS的关键技术、微观世界的独特物理特性、尖端技术和市场趋势。

  Shuji Tanaka于1994年、1996年和1999年分别在日本东京大学获得机械工程学士、硕士和博士学位。1999年，他作为研究助理加入东北大学机械电子与精密工程系，2001年成为助理教授，2003年在纳米力学系担任副教授。自2013年起，他担任机器人学系和微系统集成中心主任教授。2010年9月至2011年3月，他在IMEC担任访问教授。他还曾于2004年至2006年在日本科学技术振兴机构（JST）的研究与开发战略中心担任研究员，并于2006年至2018年担任特聘研究员。田中教授是IEEE和日本机械工程师学会（JSME）的会士。他是MEMS工程师论坛的总主席，该论坛每年汇聚数百名行业专业技术人员。他积极为《日经xTECH》等出版物撰写有关MEMS商业和技术的文章。他还曾担任IEEE超声、铁电和频率控制（UFFC）学会的行政委员会成员（2020-2022年）、IEEE MEMS大会的联合主席以及2023年传感器与执行器大会的执行项目主席。他的研究兴趣包括微机电系统、声波器件、晶圆级封装与集成以及压电器件和材料。

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